白光干涉相关论文
白光干涉法已经被广泛用于MEMS微传感器、光学透镜和透明薄膜等超精密器件的表面特征检测当中。随着超精密制造及复杂微纳器件技术......
白光干涉测量技术具有精度高和非接触式测量的优点,是超精密加工领域中的一项重要测量手段。针对白光干涉测量技术容易受环境振动影......
对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测,采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的20× Mirau型白光干涉......
谐波减速器具有传动平稳、传动精度和传动效率高、传动比范围大、承载能力高、结构简单、体积小、质量轻等优点,被广泛应用于航空航......
随着现代科技的发展和精密加工元件的大量使用,对加工元件表面的粗糙度等面形参数检测精度提出了更高的要求,为了适应工业化生产现......
数据流量的爆炸式增长对先进光纤通信网络的质量提出了更高的要求。对光纤通信网络中的光学波导器件进行高精度地传感测试变得尤为......
大尺寸、高精度三维形貌测量技术在超高精度加工检测领域发挥着重要的作用,相关仪器设备的研发关乎国家核心竞争力,对于我国制造业......
随着光纤传感技术的飞速发展,不断涌现出新的器件与技术,基于光纤白光干涉技术的分布式传感技术在结构健康智能监测领域更广泛的应......
在高能激光应用领域,光学元件的抗激光损伤阈值大小及损伤识别已引起高度关注,研究者致力于通过对激光作用光学薄膜元件后造成的损......
为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉......
在微纳器件测试与计量标定领域, 很多问题都涉及到对微观台阶的高精度测量。白光干涉垂直扫描法具有非接触、精度高、速度快等优点......
微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形......
本文提出和研究了白光点源照明下的双光栅衍射干涉效应,报道了白光照明下剪切干涉的“消色效应”,给出了完整的菲涅耳线性标量衍射......
当光源为高斯型光谱,非平衡光路中考虑介质色散时求出双光束干涉的光强度解析解。分析了干涉条纹可见度和可见范围与介质的厚度、色......
提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响, 通......
提出了一种通过白光干涉仪来检测陶瓷插芯中光纤是否存在断点的方法。通过使用白光干涉仪使陶瓷端面和插芯内光纤断点处两个表面的......
在前人工作的基础上,分析了干涉探测的基本工作原理;采用波动光学理论、平面波近似和非相干叠加等方法对干涉探测技术进行了理论分析......
随着薄膜器件在光通信、航空航天、生物医学、新能源等前沿领域的广泛应用,薄膜技术的相关研究也日益深入。薄膜的厚度参数直接影......
空间频域算法作为白光干涉测量的重要算法之一,被广泛应用于微纳结构表面形貌测量领域.然而,传统空间频域算法中存在着由被测样品......
针对复杂电磁环境下风洞实验中绕流阻力测量和飞行器空速监测的需求,利用自主研制的基于白光干涉测量技术的压差式光纤气流传感系......
对使用迈克耳孙干涉仪白光干涉测量透明介质折射率实验中出现的3种异常现象的原因进行了分析。在考虑介质色散并对人视觉函数作适......
理论分析了偏振模式耦合的原理,给出了基于白光干涉的偏振耦合检测方法。通过步进电机控制迈克耳孙干涉仪扫描臂的反射镜移动,改变......
提出了一种基于白光干涉原理的钛扩散铌酸锂(LiNbO3)集成光学相位调制器尾纤偏振串音测量方法,分析了白光干涉仪输出干涉信号与集......
现代社会生产制造日益趋向于纳米尺度,所以对传感器的精度和性能要求也随之提高。以手机芯片制造工艺为例,下一代芯片的制造工艺将......
通过对激光作用薄膜元件后的损伤过程和图像损伤特征进行分析与研究,借助光学薄膜损伤表面三维微观形貌的重构,揭示薄膜元件损伤机......
核电站混凝土安全壳是预防发生核事故破坏的关键,而其中预应力锚索状态是反应其强度的直接度量。经验表明:核安全壳锚索预应力损失......
白光扫描干涉测量技术是一种重要的三维表面形貌测量技术,由于其非接触、面扫描、高精度、无相位模糊等特性,已广泛运用于微观表面......
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......
为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ......
理论分析了基于白光干涉的保偏光纤偏振模式耦合检测原理,并以迈克尔逊干涉仪对保偏光纤的偏振耦合的耦合强度和耦合点的位置进行......
砂轮作为磨削加工中被广泛使用的一种磨具,其表面形貌对磨削加工过程和最终所加工出的产品表面质量有着直接的影响,因此对砂轮表面形......
采用Levenberg-Marquardt算法(LMA)对光纤法布里-珀罗(F-P)腔的白光干涉光谱进行拟合;通过对光源光谱的高斯拟合处理和对LMA拟合参......
太阳能电池板表面纹理是影响光电转换效率的关键因素之一,通过对太阳能电池板表面微观形貌的测量,对比不同的表面纹理参数与太阳能......
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
分布式光纤传感技术是一种用传感光纤获取沿空间分布和随时间变化的待测场(如压力场、温度场、电磁场、流速场等)信息的技术。基于......
光学薄膜器件功能性强、灵敏度高、稳定性好、集成度高,在光通信器件和光纤器件中起着越来越重要的作用.随着光纤通信及光纤传感技......
受中国物理研究院的委托,我们设计研究了一种白光差分干涉测量装置来测量超薄金属薄带的厚度。该项目在完成理论可行性论证后,要进行......
在白光干涉法偏振耦合测试中,通常认为被测光纤的双折射与波长无关,保偏光纤两正交轴的传播常数差为一恒定值。但在实际中,保偏光......
OCT(Optical Coherence Tomography,光学相干层析技术)是一种基于白光干涉技术的新型光学成像技术。它具有分辨率高,非接触测量等......
白光干涉测量技术距离首次提出已经有近30年的历史,作为一种高精度的绝对测量方法被广泛用于位移、温度、应变、压力等各种物理量......
光相干域偏振测定法(OCDP)是一种白光干涉技术,通常用于检测保偏光纤(如熊猫型)的偏振耦合分布(PCD)。偏振耦合分布是由光纤外界环......
白光干涉测量技术是精密器件性能测试、分布式传感等领域的重要手段,光程扫描延迟线作为白光干涉测量的关键器件,其指标(扫描量程......
偏振光学器件、组件与系统广泛应用于光纤传感和光纤通信领域中,尤其以光纤陀螺、光纤水听器和光纤电流互感器为代表,在航空、航天、......